지엔유(G&U) 실제 제품 및 시공 사진을 바탕으로 한 안내입니다. 특정 가스·압력·장비에 대한 제작 가능 여부는 프로젝트별 사양 검토가 필요합니다.
반도체 공정가스 명칭은 왜 여러 가지인가요?
실무에서는 화학식(H2), 한글명(수소), 영문명(Hydrogen)을 상황에 따라 사용합니다. 제품 또는 설비 관련 검색에서도 이러한 표현이 서로 다르게 사용될 수 있어 별도 명칭을 함께 제공합니다.
물질명과 설비 적용 여부는 별개입니다
아래 명칭표는 검색 및 커뮤니케이션을 위한 참고 자료입니다. 목록에 포함되어 있다는 이유만으로 지엔유가 해당 가스를 판매하거나, 그 가스의 공급설비 제작·시공을 모두 수행할 수 있다는 뜻은 아닙니다.
정확한 가스 확인이 필요합니다
특정 물질의 위험성, 반응성, 재질 적합성은 가스별 안전자료와 법령 및 실제 공정 조건에 따라 검토해야 합니다. 혼합 적합성이나 설비 사양을 아래 명칭표만으로 판단할 수 없습니다.
공정가스·관련 물질 한글명 / 영문명 / 화학식
화학식, 수소 같은 한글명 또는 Hydrogen 같은 영문명으로 검색할 수 있습니다. 특정 공정물질은 일반 압축가스가 아닐 수 있으며, 명칭표는 설계 적합성·취급 가능성을 보증하지 않습니다.
전체 64개 명칭
| 화학식·약어 | 한글명 | 영문명 | 한글 별칭 | 분류 |
|---|---|---|---|---|
| N2 | 질소 | Nitrogen | 기체질소·GN2 | 질소·불활성 |
| Ar | 아르곤 | Argon | 알곤 | 질소·불활성 |
| He | 헬륨 | Helium | 헬륨가스 | 질소·불활성 |
| Ne | 네온 | Neon | 네온가스 | 질소·불활성 |
| Kr | 크립톤 | Krypton | 크립톤가스 | 질소·불활성 |
| Xe | 제논 | Xenon | 제논가스 | 질소·불활성 |
| H2 | 수소 | Hydrogen | 수소가스 | 일반·반응가스 |
| O2 | 산소 | Oxygen | 산소가스 | 일반·반응가스 |
| O3 | 오존 | Ozone | 오존가스 | 일반·반응가스 |
| NH3 | 암모니아 | Ammonia | 암모니아 가스 | 일반·반응가스 |
| N2O | 아산화질소 | Nitrous Oxide | 일산화이질소 | 일반·반응가스 |
| NO | 일산화질소 | Nitric Oxide | 산화질소 | 일반·반응가스 |
| NO2 | 이산화질소 | Nitrogen Dioxide | 이산화질소 가스 | 일반·반응가스 |
| CO | 일산화탄소 | Carbon Monoxide | 일산화탄소 가스 | 일반·반응가스 |
| CO2 | 이산화탄소 | Carbon Dioxide | 탄산가스 | 일반·반응가스 |
| CH4 | 메탄 | Methane | 메테인 | 일반·반응가스 |
| H2S | 황화수소 | Hydrogen Sulfide | 황화수소 가스 | 일반·반응가스 |
| SiH4 | 모노실란 | Silane | 실란·시란 | 실리콘·증착 |
| Si2H6 | 디실란 | Disilane | 다이실란 | 실리콘·증착 |
| SiF4 | 사불화규소 | Silicon Tetrafluoride | 테트라플루오로실란 | 실리콘·증착 |
| SiCl4 | 사염화규소 | Silicon Tetrachloride | 염화규소(IV) | 실리콘·증착 |
| SiHCl3 | 트리클로로실란 | Trichlorosilane | 삼염화실란·TCS | 실리콘·증착 |
| SiH2Cl2 | 디클로로실란 | Dichlorosilane | 다이클로로실란·DCS | 실리콘·증착 |
| GeH4 | 게르만 | Germane | 모노게르만 | 실리콘·증착 |
| SiBr4 | 사브롬화규소 | Silicon Tetrabromide | 테트라브로모실란 | 실리콘·증착 |
| TEOS | 테트라에톡시실란 | Tetraethyl Orthosilicate | TEOS·테트라에틸오르토실리케이트 | 실리콘·증착 |
| PH3 | 포스핀 | Phosphine | 인화수소 | 도핑·화합물 |
| AsH3 | 아르신 | Arsine | 비화수소 | 도핑·화합물 |
| B2H6 | 디보란 | Diborane | 다이보레인 | 도핑·화합물 |
| BF3 | 삼불화붕소 | Boron Trifluoride | 보론 트리플루오라이드 | 도핑·화합물 |
| BCl3 | 삼염화붕소 | Boron Trichloride | 염화붕소 | 도핑·화합물 |
| BBr3 | 삼브롬화붕소 | Boron Tribromide | 붕소 트리브로마이드 | 도핑·화합물 |
| SbH3 | 스티빈 | Stibine | 수소화안티몬 | 도핑·화합물 |
| H2Se | 셀렌화수소 | Hydrogen Selenide | 셀레늄화수소 | 도핑·화합물 |
| PCl3 | 삼염화인 | Phosphorus Trichloride | 염화인(III) | 도핑·화합물 |
| POCl3 | 염화포스포릴 | Phosphoryl Chloride | 옥시염화인 | 도핑·화합물 |
| F2 | 불소 | Fluorine | 플루오린 | 할로겐·식각 |
| Cl2 | 염소 | Chlorine | 염소가스 | 할로겐·식각 |
| HCl | 염화수소 | Hydrogen Chloride | 무수염화수소 | 할로겐·식각 |
| HF | 불화수소 | Hydrogen Fluoride | 무수불산 | 할로겐·식각 |
| HBr | 브롬화수소 | Hydrogen Bromide | 브로민화수소 | 할로겐·식각 |
| HI | 요오드화수소 | Hydrogen Iodide | 아이오딘화수소 | 할로겐·식각 |
| ClF3 | 삼불화염소 | Chlorine Trifluoride | 클로린 트리플루오라이드 | 할로겐·식각 |
| WF6 | 육불화텅스텐 | Tungsten Hexafluoride | 텅스텐 헥사플루오라이드 | 할로겐·식각 |
| NF3 | 삼불화질소 | Nitrogen Trifluoride | 질소 트리플루오라이드 | 할로겐·식각 |
| SF6 | 육불화황 | Sulfur Hexafluoride | 황 헥사플루오라이드 | 할로겐·식각 |
| CF4 | 사불화탄소 | Tetrafluoromethane | 사불화메탄·테트라플루오로메탄 | 불소탄화물 |
| CHF3 | 삼불화메탄 | Trifluoromethane | 트리플루오로메탄 | 불소탄화물 |
| C2F6 | 육불화에탄 | Hexafluoroethane | 헥사플루오로에탄 | 불소탄화물 |
| C3F8 | 팔불화프로판 | Octafluoropropane | 옥타플루오로프로판 | 불소탄화물 |
| C4F8 | 팔불화사이클로부탄 | Octafluorocyclobutane | 옥타플루오로사이클로부탄 | 불소탄화물 |
| C4F6 | 육불화부타디엔 | Hexafluorobutadiene | 헥사플루오로부타디엔 | 불소탄화물 |
| C5F8 | 팔불화사이클로펜텐 | Octafluorocyclopentene | 옥타플루오로사이클로펜텐 | 불소탄화물 |
| CH3F | 플루오로메탄 | Fluoromethane | 불화메틸 | 불소탄화물 |
| CH2F2 | 디플루오로메탄 | Difluoromethane | 이불화메탄 | 불소탄화물 |
| CHClF2 | 클로로디플루오로메탄 | Chlorodifluoromethane | 염화이불화메탄 | 불소탄화물 |
| CClF3 | 클로로트리플루오로메탄 | Chlorotrifluoromethane | 삼불화염화메탄 | 불소탄화물 |
| CCl4 | 사염화탄소 | Carbon Tetrachloride | 탄소사염화물 | 불소탄화물 |
| CF3Br | 브로모트리플루오로메탄 | Bromotrifluoromethane | 삼불화브로모메탄 | 불소탄화물 |
| C2HF5 | 펜타플루오로에탄 | Pentafluoroethane | R125 | 불소탄화물 |
| C3F6 | 헥사플루오로프로펜 | Hexafluoropropene | 육불화프로필렌 | 불소탄화물 |
| C2H2 | 아세틸렌 | Acetylene | 에타인 | 일반·반응가스 |
| H2O | 수증기 | Water Vapor | 물·워터 베이퍼 | 일반·반응가스 |
| AIR | 공기 | Air | 압축공기·CDA(청정건조공기) | 질소·불활성 |
※ 본 표는 지엔유 SEO 기획 관리표를 기초로 작성한 명칭 참고표입니다. 실제 공정 및 안전정보는 물질별 SDS 등 공식 자료를 확인하세요.
자주 묻는 질문
H2와 수소는 별개 물질인가요?
아닙니다. H2는 수소 분자의 화학식이고 Hydrogen은 영어 이름입니다.
이 목록에 있는 가스는 모두 공급하나요?
아닙니다. 가스·전구체 명칭 참고용 목록이며 개별 설비 적용 범위는 별도 확인해야 합니다.